Добро пожаловать на сайт Saftherm

E-mail :inquiry@saftherm.com

WhatsApp:0086 18939003516

Главная

Продукт

Муфельная печь

Тручатая печь

Промышленная камерная печь

Вакуумная атмосфера Печь

Атмосферная печь

Печь с выдвижным подом

Подъемная печь

Части печи

Сервис

Служба по работе с клиентами

Кейс

Загрузки

О нас

О компании

Сертификат

История

Визит клиента

Наша фабрика

Контакт

Трубчатая электропечь химического осаждения из газовой фазы (CVD) с температурой нагрева 1200℃

Cерии: STGC Cерии

1.температурой нагрева :1200°C

2.Рабочая температура:1100C

3.Размеры трубы печи: Φ25x800 мм

4.Размер зоны нагрева:440 мм

5.Напряжение питания:220 В/1,8 кВт

6.Нагревательные элементы:Фехралевая проволока

7.Материал трубы печи:Кварцевая трубка

8.Термометрический элемент:Термопара N-типа

Трубчатая печь химического осаждения из газовой фазы (CVD) с температурой нагрева 1200℃

I. Описание изделия

Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) в трубчатой печи с температурой нагрева 1200℃ представляет собой метод синтеза покрытий или наноматериалов в результате реакции химического газа или пара на поверхности подложки, это наиболее широко используемая технология в полупроводниковой промышленности для осаждения разнообразных материалов, включая широкий спектр изоляционных материалов, большое количество металлических материалов и металлических сплавов.

II. Особенности изделия

Наружный корпус печи

1. Наружный корпус изготовлен из низкоуглеродистой стали Q235, на поверхность нанесено электростатическое химически стойкое лакокрасочное покрытие, что обеспечивает высокую коррозионную стойкость наружного корпуса;

2.Конструкции имеет прочный двухслойный металлический каркас, который в сочетании с теплоизоляционным вентилятором обеспечивает низкую температуру на внешней поверхности печи

3. Использование в горизонтальной плоскости, открывание дверцы наверх, обеспечивается удобство выполнения операций

Огнеупорные материалы

Применяется многослойная конструкция тепловой изоляции, состоящая из высококачественных термоизоляционных обмуровочных плит и легковесных керамических волокнистых материалов на основе окиси алюминия. Тепловая изоляция не содержит асбеста, обеспечивает минимальные тепловые потери и низкое энергопотребление печи.

Система нагрева

1. Высококачественные спиральные нагревательные элементы из фехрали надежно и прочно встроены в поверхности рабочего пространства печи, нагрев происходит за счет свободного теплового излучения в пространстве муфеля, обеспечивается высокая эффективность нагрева и длительный срок службы.

2. Круговой нагрев с помощью проволоки сопротивления, что обеспечивает качественный равномерный прогрев внутри печи.

Панель управления температурой

1. PID регулятор в сочетании с SSR реле обеспечивает точность регулирования температуры

2. Нихроcил-нисиловая термопара N-типа по международному стандарту, диапазон температур 0-1300 ℃, длительный срок службы

3. Дверца печи оснащена выключателем открытия для защитного отключения электропитания при открытии дверцы

Программируемый контроллер

1. Высококлассный контроллер, который подходит для использования в условиях сложных технологическим требований

2. Простое и интуитивно понятное управление, гибкие возможности программирования

3. 4 программируемые кривые, 8 программных сегментов для каждой кривой

4. Сигнализация о неисправностях и перегреве, автоматические предохранительные защиты

Функция вакуумирования и создания защитной атмосферы

1. Для создания вакуума или защитной атмосферы в трубе печи применяются уплотнительные фланцы из нержавеющей стали 304

2. Рабочая труба выполнена из высококачественного кварцевого стекла, также допускается исполнение рабочей трубы из металлического или корундового материала, что удовлетворяет требованиям для различных условий работы

3. Высокопроизводительный двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос, который обеспечивает степень разрежения в 5 Па, цифровой вакуумметр для индикации степени разрежения

4. Комплектуется блоком управления газового тракта, блок управления на выбор оснащается системой автоматического управления с 1-3 канальным регулятором массового расхода (MFC)

Трубчатая печь химического осаждения из газовой фазы (CVD) с температурой нагрева 1200℃ Технические параметры

Модель	STGC-25-12	STGC-40-12	STGC-60-12	STGC-80-12	STGC-100-12	STGC-120-12
Размеры трубы печи	Φ25x800мм	Φ40x1000 мм	Φ60x1000 мм	Φ80x1000 мм	Φ100x1000 мм	Φ120x1000 мм
Номинальная температура	1200℃
Рабочая температура	1100℃
Размер зоны нагрева	440 мм
Напряжение питания	220 В/1,8 кВт	220 В/1,8 кВт	220 В/2,6 кВт	220 В/2,6 кВт	220 В/2,6 кВт	220 В/5 кВт
Нагревательные элементы	Фехралевая проволока
Материалы рабочего пространства печи	Поликристаллический керамический волокнистый материал из неорганического оксида алюминия, полученный методом влажной вакуумной фильтрации
Материал трубы печи	Кварцевая трубка
Шаг регулирования температуры	±1℃
Термометрический элемент	Термопара N-типа
Терморегулятор	Интеллектуальный микропроцессорный PID-регулятор температуры, SCR/SSR управление, функция самонастройки параметров PID; программируемые 4 группы по 8 сегментов, программируемое повышение, поддержание и снижение температуры
Скорость повышения температуры	Произвольное регулирование в диапазоне 1-25℃/мин
Конструкция корпуса печи	Встроенный термоконтроль рабочей камеры, рабочая камера распашного типа; двухслойный корпус, теплоизоляция циркулирующим воздухом
Характеристики уплотнения	Оба конца трубы печи оснащены металлическими фланцами из нержавеющей стали, которые комплектуются высокотемпературными шайбами из ПТФЭ, что обеспечивает работу под вакуумом со степенью разрежения ≤5 Па (пластинчато-роторный вакуумный насос)
Характеристики защитной атмосферы	Возле фланцев с обоих концов трубы имеется впускное и выпускное отверстие, а также манометр на металлическом фланце, подвод и отвод газа регулируется с помощью прецизионного игольчатого клапана, допускается подача азота, аргона, водорода и других защитных газов
Защита оборудования	Модульное управление, выдача сигналов светозвукового оповещения при перегреве или внезапном прекращении нагрева в процессе работы, автоматическое выполнение действий при срабатывании защит
Предохранительные средства защиты	Оборудование оснащено автоматическим выключателем, который автоматически размыкается в случае короткого замыкания или утечки тока, тем самым обеспечивая защиту оборудования и безопасность оператора
Наружный корпус	Выполнен из высококачественной листовой холоднокатаной стали, раскрой которой выполнен на станках с ЧПУ, внешняя поверхность подвергнута обработке методом шлифования, полировки, фосфатизации, кислотной промывки, а также выполнено электростатическое напыление порошкового покрытия
Сертификация качества	ISO9001 CE SGS TUV
Стандартная комплектация	1. Корпус печи 1 шт. 2. Регулятор температуры 1 шт. 3. Кабель питания 3 м 4. Термопара 1 шт. 5. Руководство по эксплуатации 1 шт. 6. Крюк 1 шт. 7. Перчатки для защиты от высоких температур 1 пара 8. Трубная заглушка 2 шт. 9. 1 комп. уплотнительных фланцев
Дополнительные аксессуары	1. Пластинчато-роторный вакуумный насос (степень разрежения ≤ 5 Па) 2. Цифровой вакуумметр (1,0 × 105–1,0 × 10–1 Па) 3. Поплавковый расходомер (диапазон 60–600 мл/мин) 4. Кварцевая лодочка